ウェーハプロセスには、成膜やドライエチングに代表されるドライプロセスがあります。これらのプロセスで使用される不活性ガスおよび特殊材料ガスには高い清浄度が求められます。従来から、ガス中の粒子を除去する目的で高性能ガスフィルターが使用されていますが、デバイスの歩留まり、電気特性、膜質の改善を目的としてガス中の不純物を除去するのには、ガスピューリファイヤーが効果的です。
インテグリスはドライプロセスにおいて、ろ過・精製に関わる高性能・高品質な製品を提供します。
プロセスガスのろ過
インテグリスのガスフィルターは、ガス中の粒子を高効率で除去するだけでなく、高品質のプロセスを一貫して実現するために、優れた初期清浄度と内面処理を施しています。
ガス種、流量、用途に合わせて、PTFE、ステンレス、ニッケルのメンブレン材質、インラインタイプから集積タイプまで、豊富なラインアップをご用意しています。 | |  |
チャンバーベント
インテグリスのディフューザーは、ロードロックチャンバーの大気開放時における粒子の巻上げを防止し、ベントタイムの短縮とスループットの向上に寄与します。
チャンバー容積およびガス供給圧力、設置スペースに合わせたサイズとデザインをご用意しています。 | |  |
プロセスガスの精製
| GateKeeper（ゲートキーパー）ガスピューリファイヤーは、最大流量が60L/minまでのPOU用と300L/min以上のバルク用の各種ラインナップがあり、粒子除去フィルターエレメントを内臓しています。ガス供給源または装置内部でガス中の不純物を除去することにより、MFCやバルブなどの保護、プロセス汚染の防止に寄与します。 | |  |