フラットパネルディスプレイは多くの産業と一般家庭に急速に普及しています。市場には様々なタイプのディスプレイが販売されていますが、TFTディスプレイの出荷量が最も多く、ほとんどのパソコン(PC)ディスプレイに採用されています。近年は、特にテレビ向けの需要が拡大し、各メーカーはマザー基板の拡大化やプロセスの改良によって、生産性の向上とコストダウンに取り組んでいます。
インテグリスはファインケミカルのろ過、移送、保管など、フラットパネルディスプレイの製造工程に関わる製品を提供します。
パネルの洗浄・剥離
 | | フラットパネルディスプレイの製造工程には、パネル表面の洗浄または剥離が必要なステップが多数あります。クロミウム膜、アルミニウム膜、透明電極(ITO)膜、さらにはSiO2やSiNxなどの絶縁膜は、薬品を使って剥離されます。 インテグリスは、フラットパネルディスプレイ基板の洗浄、剥離の各プロセスに適したフィルター製品を提供しています。 |
レジスト塗布、現像
 | | フラットパネルディスプレイの製造工程において、微細回路の形成にフォトレジスト(感光剤)が使用されます。パネル基板上にフォトレジストを均一に塗布し、フォトマスクを通して露光することにより感光します。 フォトレジスト中の異物はパターン欠陥に結びつくことが多いので、ディスペンスの直近でのPOU(最終使用点)ろ過が必要とされます。インテグリスはこのアプリケーションに最適化されたフィルターを提供しています。 |