現在の太陽光発電デバイスの主流は、単結晶または多結晶のシリコンウェーハを基板とした結晶型太陽電池ですが、ガラスやプラスチックの基板にシリコンなどの材料を成膜した薄膜型太陽電池も増えつつあります。
太陽電池の製造プロセスは半導体や液晶と共通するところが多く、拡散やPVDといったドライプロセス、エッチングや洗浄といったウェットプロセスがあります。
インテグリスは太陽電池セルの搬送容器、各種の製造プロセスに適したフィルター製品を提供します。
156mm角
125mm角、100mm角
300-500L/min対応フィルター
プロセスガス用に設計された高性能フィルター
特殊材料ガスや不活性ガス等、用途に合わせて精製メディアが異なるガスピューリファイヤー
真空チャンバー開放時の気流拡散