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チャンバーガードⅡMAXディフューザー

PTFEメンブレン
 
チャンバーガードⅡMAXディフューザー
  • 流量特性に優れたプリーツ構造のPTFEメンブレン。
  • 大容量のロードロックチャンバーに適した製品。
 
チャンバーガードⅡMAXディフューザー
材質
 フィルター：PTFE

サポート：PFA

スクリーン：SUS316L

接続部：SUS316L
最大供給圧力
 0.14 MPa （2次側真空時）
最大許容差圧
 0.25 MPa
最高使用温度
 120 °C