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チャンバーガードⅡMAXディフューザー
PTFEメンブレン
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流量特性に優れたプリーツ構造のPTFEメンブレン。
大容量のロードロックチャンバーに適した製品。
チャンバーガードⅡMAXディフューザー
材質
フィルター:PTFE
サポート:PFA
スクリーン:SUS316L
接続部:SUS316L
最大許容差圧
0.25 MPa
最高使用温度
120 °C
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