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チャンバーガードⅡMAXディフューザー

PTFEメンブレン
 
  • 流量特性に優れたプリーツ構造のPTFEメンブレン。
  • 大容量のロードロックチャンバーに適した製品。
 
チャンバーガードⅡMAXディフューザー
材質
フィルター:PTFE

サポート:PFA

スクリーン:SUS316L

接続部:SUS316L
最大許容差圧
0.25 MPa
最高使用温度
120 °C