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ウェハーガードⅡ F-40 インラインガスフィルター

PTFEメンブレン、1500NL/min
mc9004.pdf (85747)
 
ウェハーガードⅡ F-40 インラインガスフィルター
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 316Lステンレス製ハウジング。
  • 初期水分放出10ppb以下のクリーンな製品。
 
ウェハーガードⅡ F-40 インラインガスフィルター
材質
 フィルター：PTFE

コア：ECTFE

ハウジング：SUS316L
粒子捕捉効率
 0.003 μm以上の粒子を99.9999999 %以上
初期清浄度
 水分 10ppb 以下
常用圧力
 1 MPa 未満
最大許容正差圧
 0.4 MPa at 20°C
最大許容逆差圧
 0.07 MPa at 20°C
最高使用温度
 120 °C
製品型番
 WG2F40RR3 WG2F40JJ4 WG2F40JJ6