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ウェハーガードⅡSF3XPインラインガスフィルター

SUS316Lメンブレン、90/200NL/min
ec1005.pdf (128428)
 
  • ほとんどのガスに使用できるオールステンレスフィルター。
  • 従来の3倍(当社比)の高流量と高除粒子性能を実現した新開発のメンブレン。
  • 従来製品と面間が同じですので、置換えが容易。
 
ウェハーガードⅡSF3XPインラインガスフィルター
材質
フィルター:SUS316L

ハウジング:SUS316L
除粒子サイズ
0.003 µm
初期清浄度
0.01µm以上の粒子 <0.03 個/L
最高使用圧力
0.98 MPa
最大許容差圧
0.98 MPa
最高使用温度
460 °C
製品型番
WG2S3P1RR2 WG2S3P1RR4 WG2S3P2RR4