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ウェハーガードⅢNFインラインガスフィルター

ニッケルメンブレン、30/60/120NL/min
ec0305.pdf (161678)
 
ウェハーガードⅢNFインラインガスフィルター
  • 独自に開発したニッケルメンブレンは高流量、高差圧でも高い除粒子性能を発揮。
  • 流量に合わせてハーフ、ミニ、ミニXLの3タイプをご用意。
  • 特殊洗浄、ホットN2パージ、真空ベーキングを施したクリーンな製品。
 
ウェハーガードⅢNFインラインガスフィルター
材質
 フィルター：ニッケル

ハウジング：Low Sulfur SUS316L
粒子捕捉率
 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上
初期清浄度
 0.01µm以上の粒子 <0.03 個/L
設計圧力
 16.2 MPa
常用圧力
 1 MPa 未満
最大許容差圧
 2 MPa
最高使用温度
 400 °C
製品型番
 WG3NS0RR2 WG3NS1RR2 WG3NS2RR2 WG3NS2RR4