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ウェハーガードMAX-1000インラインガスフィルター

PTFEメンブレン、1000NL/min、大容量
ec1006.pdf (124383)
 
ウェハーガードMAX-1000インラインガスフィルター
  • 目詰まりの早いプロセス向けにデザインされた大容量タイプ。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 316Lステンレス製ハウジング。
 
ウェハーガードMAX-1000インラインガスフィルター
材質
 フィルター：PTFE

サポート：PFA

O-リング：被覆フッ素ゴム（E-FKM）

ハウジング：SUS316L
粒子除去率
 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上
初期清浄度
 0.01µm以上の粒子 <0.03 個/L
最高使用圧力
 0.98 MPa
最大許容正差圧
 0.39 MPa
最大許容逆差圧
 0.25 MPa
最高使用温度
 120 °C
製品型番
 WGMXLBRR4 WGMXLBSS4