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ウェハーガードSGインラインガスフィルター

PTFEメンブレン、60/120/1000NL/min
eds0826.pdf (308766)
 
ウェハーガードSGインラインガスフィルター
  • 太陽光発電デバイス、フラットディスプレイのプロセスガス用。
  • 流量、用途に合わせて8タイプをご用意。
  • 316Lステンレス製ハウジング。
 
ウェハーガードSGインラインガスフィルター
材質
 フィルター：PTFE

サポート：PFA

O-リング：PFA

ハウジング：316L ステンレス鋼 （内面電解研磨）
粒子捕捉率
 YY50シリーズ：0.003 μm 以上の粒子を99.99％以上

WGFG シリーズ：0.003 μm 以上の粒子を99.9999999％以上
最高使用圧力
 1 MPa 未満
最大許容正差圧
 WGFGMBシリーズ：0.7 MPa

上記以外：0.4 MPa
最大許容逆差圧
 WGFGMBシリーズ：0.25 MPa

上記以外：0.07 MPa
最高使用温度
 120°C
製品型番
 YY5001HR1 YY5002PR1 YY5032PR1 WGFGT1PR1 WGFG02PR1 WGFG50PR1 WGFGMBRR2 WGFGMBRR4

YY5001HS1 YY5002PS1 YY5032PS1 WGFGT1PS1 WGFG02PS1 WGFG32PS1 WGFGMBSS2 WGFGMBSS3 WGFGMBSS4