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ウェハーガードMAX インラインガスフィルター

PTFEメンブレン、1000NL/min
ec0101.pdf (159329)
 
ウェハーガードMAX インラインガスフィルター
  • コンパクトで高流量を実現。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 特殊洗浄を施したクリーンな製品。
  • 高品位316Lステンレス製ハウジング。
 
ウェハーガードMAX インラインガスフィルター
材質
 フィルター：PTFE

サポート：PFA

ハウジング：Low Sulfur SUS316L
粒子除去率
 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上
初期清浄度
 0.01µm以上の粒子 <0.03 個/L
　
 H2O, THC <10 ppb （MAX-Sのみ）
推奨流量
 150 - 1000 NL/min
最高使用圧力
 1 MPa 未満
最大許容正差圧
 0.7 MPa
最大許容逆差圧
 0.25 MPa
最高使用温度
 120 °C
製品型番
 WGMXMBRR2 WGMXMBRR4 WGMXMBSS2 WGMXMBSS3 WGMXMBSS4 WGMXMSRR2 WGMXMSRR4