チャンバーガード は、真空チャンバー内の粒子を巻き上げることなく、大気圧状態に迅速に戻すためディフューザーです。
プロセスガスのろ過で実績の高いフィルターメディアは、均一な気流分布と高い粒子除去性能を発揮します。
各種チャンバーに合わせて多様なラインアップをご用意しており、既存装置へ取り付けも可能です。