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光学系パージガス用

不活性ガス中の不純物を除去
ルミナスガード ガスピューリファイヤー
不活性ガス中のハイドロカーボン、酸・塩基性不純物を除去
  • 光学系のガスパージライン用に開発された製品。
  • 不活性ガス中のハイドロカーボン、酸・塩基性不純物を99.9％以上除去。
  • フィルターを内臓しており、パーティクルも同時に除去。
  • 初期有機物放出量を極限まで抑えたクリーンな製品。
チャコレット ガスピューリファイヤー
不活性ガス中のハイドロカーボンを除去
  • 光学系のガスパージライン用に開発された製品。
  • 不活性ガス中のC6以上のハイドロカーボンを1ppb以下に精製。
  • フィルターを内臓しており、パーティクルも同時に除去。
  • 初期有機物放出量を極限まで抑えたクリーンな製品。