（NT6510の外観）
高精度の液体流量制御
高純度薬品およびCMPスラリーの供給システムには高精度の流量制御が必要となります。同時に優れた耐薬品性、清浄性、さらには高い信頼性が求められます。
インテグリスのNT6500/6510シリーズは、最新の電子制御技術と高清純部材を採用した、最先端の液体用フローコントローラで、プロセス流量の変動を最小限に抑えます。
耐薬品性に優れたデザイン
特許取得のNT6500/6510シリーズは、高純度薬品およびCMPスラリーの流量制御向けに開発されました。 実績のある差圧式流量計測技術により、気泡が含まれる薬液も確実に制御します。 本体内部のバルブシートとダイアフラムはデッドボリュームおよび流体のせん断を最小限に抑え、プロセス汚染の可能性を低減します。 接液部には耐薬品性に優れたPTFEを、非接液部には耐腐食性に優れた不活性素材を使用しています。
先進のテクノロジー
NT6500/6510シリーズは、二重のPTFEダイアフラム構造を採用しており、シール性と逆汚染の防止に優れています。 インテグリスの差圧式流量計測技術と最先端のバルブ技術を組み合わせ、信頼性の高いクローズドループ流量制御を実現しています。
≪推奨アプリケーション≫