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高純度窒素ガス用フィルター
ウェハーガードGT-プラスガスフィルター
オールフッ素樹脂製
  • 搬送、パージ、ボトル加圧用のN2ラインのろ過。
  • 耐薬品性、清浄性に優れたオールフッ素樹脂製。
  • コンパクトサイズ。
ウェハーガードMAXインラインガスフィルター
PTFEメンブレン、1000NL/min
  • コンパクトで高流量を実現。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 特殊洗浄を施したクリーンな製品。
  • 高品位316Lステンレス製ハウジング。
ウェハーガードⅡFマイクロインラインガスフィルター
PTFEメンブレン、30NL/min
  • コンパクト設計。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 特殊洗浄とベーキングを施したクリーンな製品。
  • 高品位316Lステンレス製ハウジング。