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192/198シリーズ

200mmウェーハキャリア

 

 

200mmウェーハキャリアのスタンダードモデル

  • 脚部に位置決めのVノッチ
  • 自動機対応
  • 洗浄効率を考慮した洗浄窓（A192）
  • 識別用オプション取り付け可能

アプリケーションに応じて材質を選択できます

  • PFA：耐薬品性
  • STAT-PRO 100（カーボンパウダー含有ポリプロピレン）：帯電防止
  • STAT-PRO 3000（カーボンファイバー含有PEEK）：高温安定性、耐摩耗性、帯電防止

 

 

主な仕様

ウェーハ径 200mm（8"）
収納枚数 25枚
材　質 PFA ポリプロピレン（青） STAT-PRO 100 STAT-PRO 3000
外形寸法 203(L)×234(W)×219(H) mm
D1寸法 25.4 mm
ポケットピッチ 6.4 mm
ポケットフラット 1.7 mm
型　番 A192-80M-0215 PA192-80M-0603 PA192-80M-61C02 KA198-80M-47C02

 

最高使用温度

材　質 PFA ポリプロピレン STAT-PRO 100 STAT-PRO 3000
連続使用 165°C 55°C  55°C 120°C
挿入ウェーハ 250°C 70°C  70°C 340°C

 

ロープロファイル

ウェーハ径 200mm（8"）
収納枚数 25枚
材　質 PFA
外形寸法 203(L)×234(W)×156(H) mm
D1寸法 25.4 mm
ポケットピッチ 6.4 mm
ポケットフラット 1.7 mm
型　番 A192-81M-0215
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ハンドル、保管ボックス