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Spectra FOUP

300mmウェーハの工程内搬送容器

 

 
  • 容器本体は高純度のポリカーボネートを使用
  • ESD仕様にはスタットプロ500（カーボン含有ポリカーボネート）を使用
  • ウェーハカセットのサポート部にスタットプロ3000（カーボン含有PEEK）を使用
  • プロセスによって識別可能なカラーバリエーション
  • 確実性と耐久性に優れたドアの開閉機構
  • 人間工学に基づいたハンドルデザイン
  • ガスパージ対応
  • SEMI規格準拠

 

主な仕様

ウェーハサイズ  300 mm
収容枚数 25枚+1枚（ポケットピッチが異なります）
ポケットピッチ 10 mm
外形寸法 333(L)×416(W)×335(H) mm
重さ 4.2 kg （空容器）