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クリスタルパック

ポリカーボネート製のウェーハ出荷容器

 

 
  • クリーンで確実なウェーハ搬送
     
  • 自動化対応カセット
     
  • ガス放出が少ない高純度ポリカーボネートを使用
     
  • 取り外し可能なガスケットにより、外部パーティクルから遮断
     
  • 独自のウェーハサスペンションシステムにより、ウェーハを保持
     
  • 人間工学に基づいたデザイン
     
  • リユース可能

 

主な仕様

ウェーハ径 200mm (8")
収容枚数 25枚
材　質 ボックス
カセット
クッション
ガスケット		 高純度ポリカーボネート
高純度ポリカーボネート
低密度ポリエチレン
PBT
外形寸法 ボックス
カセット		 268.0(W)×289.3(D)×241.2(H) mm
233.4(W)×218.4(D)×220.7(H) mm
D1寸法 25.4 mm
ポケットピッチ 6.4 mm
型　番 HS200-0042

 

構造