アプリケーション

デバイスの歩留りと生産効率の向上
SB300 FIMS（Front Opening Interface Mechanical Standard）対応FOSB（Front Opening Shipping Box）は、ウェーハの高度な保護および最適な自動化インターフェースを提供し、デバイスの全面的な歩留りおよび設備全体の生産効率を向上させるために開発されました。

クリーンで確実なウェーハ搬送
SB300は、ウェーハ搬送時に高度なウェーハ保護を提供するために設計および製造されています。

• 超高純度のポリカーボネート製ハウジングは、寸法安定性が高く、パーティクルおよびアウトガスの発生を低く抑えます。
• ガスケットによる密閉とフィルター内臓により、外部からのパーティクル汚染を抑えます。
• ドア内部には特殊な形状のクッションが加工されており、ウェーハの回転を最小限に抑えます。
• 成型加工されたウェーハ接触面は、寸法精度が高くパーティクルの発生を抑えます。
• 人間工学に基づいて設計および配置されたハンドルは、作業者による適切な取り扱いを実現します。

最適化された自動化インターフェース
SB300は、信頼性の高い自動化インターフェースおよび相互連携性を提供する様々な機能を採用しています。