「450mmウェーハ対応キャリア容器の動向」
(Published: Tuesday, January 08, 2008)
| 【09:40~10:40】 | 1. 次世代半導体工場の実現に向けて ──300mmから450mmへ── ISMI Director, Scott Kramer氏 |
| 【10:45~11:35】 | 2. 次世代半導体工場(300mm Prime and 450mm)のための要件 TSMC Director, Raphael Lee氏 |
| 【11:40~12:30】 | 3. 世界の最新450mm化の動きとSEMI標準化の動向 半導体技術コンサルタント 理学博士 清水保弘氏 |
| 【13:10~14:00】 | 4. 450mmウェーハ対応キャリア容器の動向 Entegris, Inc. Microenvironment BU, Vice President, Gary Gallagher |
| 【14:05~14:55】 | 5. 450mm対応半導体工場枚葉搬送システム革命 e-CATS 代表 林 武秀氏 |
| 【15:05~15:55】 | 6. 450mm対応Robot枚葉In-Line System (株) ブルーシフト・テクノロジーズ 代表取締役 大森 宏氏 |
| 【16:00~16:50】 | 8. 次世代対応の枚葉管理システム (株) ユニスリー・システム 代表取締役社長 中澤聖一氏 |