「第12回SOPTシンポジウム」のご案内
(Published: Monday, October 01, 2007)
ピューリフィケーション研究会（通称SOPT）は、半導体および応用デバイスの量産化技術に求められるクリーン化技術、即ちピューリフィケーション（清浄化）技術について、情報提供、技術討論、技術交流の場を産学が連携して提供しています。
詳しくはこちら．．． http://www.puriken.org/about.htm
この度、「第12回SOPTシンポジウム」が開催されることになりましたので、ご案内申し上げます。
日本インテグリスは、ピューリフィケーション研究会の活動を支援しています。
＝＝＝＝＝ 第12回SOPTシンポジウム 開催概要 ＝＝＝＝＝＝＝＝
＝＝＝＝＝ 第12回SOPTシンポジウム プログラム（敬称略）＝＝＝
| 時間 | 講演タイトル | | 講師 |
| 10:00-10:10 | 開会の挨拶 | SOPT委員長 | |
| | 九州大学大学院システム情報科学研究院 | 浅野種正 |
| 10:10-11:30 | 「これなら分かる半導体フロント・エンド・プロセス」 |
| | 半導体産業新聞 | 松下晋司 |
| 11:30-12:00 | 「先端フォトマスクの現状と今後の課題」 |
| | HOYA(株)マスク事業部 | 木下 博 |
| 13:00-14:00 | 「リソグラフィ技術の現状と今後の展望」 |
| | (株)ニコン 精機カンパニー | 龜山雅臣 |
| 14:00-15:00 | 「最先端レジストの開発状況」 |
| | 富士フイルム(株)エレクトロニクスマテリアルズ研究所 | 百田 淳 |
| 15:15-16:15 | 「リソグラフィプロセスにおけるケミカルフィルタの応用」 |
| | 日本インテグリス(株) | 大屋敷 靖 |
| 16:20-16:50 | Q&A（講師全員） |
| 16:50-17:00 | 閉会の辞 | SOPT事務局長 | |
| | 日本インテグリス(株) | 二ノ宮敏裕 |
| | 総合司会 | SOPT副委員長 | |
| | 三菱電機（株）パワーデバイス製作所 | 園田信夫 |