独自の2-ステージ・ディスペンス・テクノロジにより、フィルトレーションとディスペンスを独立して制御しますので、信頼性が高く、高精度なディスペンス性能を安定して長期間維持できます。
また、低圧損のろ過により、気泡の発生やゲルの変形通過が低減しますので、欠陥の削減、歩留まりの改善にも結びつきます。
フォトケミカルの精密ディスペンス
ポリイミド等の精密ディスペンス