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ガスフィルター

高純度ガス中のパーティクルを除去
ウェハーガード シリーズ

プロセスガス用に設計された高性能フィルター

機器の保護、パージ、搬送エア用

ガス配管系部品の保護用フィルター、樹脂製フィルター、エアガン

セントラル、バルクガス用

大流量の高純度ガスや圧縮空気用カートリッジフィルター、ハウジング

ラインガード シリーズ

大流量の圧縮空気、不活性ガス用に設計されたインラインガスフィルター