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製品情報

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UPEフィルター

超高分子量ポリエチレン(UPE)メンブレンを使用したフィルター
製品の用途または区分で絞込みできます。
絞込み結果: このカテゴリーにおけるご指定の選択結果は以下の通りです。
疎水性UPEフィルター

超高分子量ポリエチレン(UPE)は、フォトレジスト溶剤に対して優れた濡れ性を有しています。

疎水性のUPEメンブレンは、化学的、物理的に安定しており、幅広いアプリケーションに使用できます。

親水性UPEフィルター(DEV)

現像液用に最適化された超高分子量ポリエチレン(UPE)メンブレンを使用しています。

親水化処理が不要で、現像液以外の弱アルカリ、中性薬品、純水にも使用できます。

親水性UPEフィルター(DI)

超純水用に最適化された超高分子量ポリエチレン(UPE)メンブレンを使用しています。

親水化処理が不要で、純水以外の中性薬品、弱酸性薬品にも使用できます。

親水性UPEフィルター(PCM)

超高分子量ポリエチレン(UPE)メンブレンに、レジスト中のゲル状不純物を吸着する作用を付加しました。

マイクロバブルの発生を抑える親水性のメンブレンは、TARCにも適しています。

親水性UPEフィルター(HP)

DHF/BOEの循環・供給ライン用にデザインされたフィルター。

親水性の超高分子量ポリエチレン(UPE)メンブレンは、親水化処理が不要で、マイクロバブルの発生を抑制します。