独自の気相コンバージョン法による高純度のSiCを用いた各種プロセス治具などを提供しています。
SiCダミーウェーハおよびウェーハキャリアは、CVD、拡散、酸化など各種成膜および熱処理プロセス用途で広くご使用になれます。
Φ100, 125, 150, 200, 300mm
SuperSiCの特徴、物性、耐薬品性