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グラファイト／SiC 製品

超高純度グラファイト、Super SiC（シリコンカーバイト）の精製、加工技術

2008年8月、インテグリスは Poco Graphite を獲得し、新たな技術の提供を開始しました。

  • 緻密で均一な構造の高純度グラファイトの精製、加工
  • 気相コンバージョン法によるSiCの製造、加工、接合

【応用製品例】

高温炉内製品保持治具、高純度材料用るつぼ、イオンビーム生成器、人口心臓弁、航空機用エンジン部品、光学機器用高精度ミラー、ガラス製造装置用部品、プラズマ生成用電極