製品・サービス

インテグリスは、高純度薬品、純水・超純水、フォトケミカル、ファインケミカル、CMPスラリーなど、エレクトロニクス分野で使用される各種液体のろ過・精製のニーズにお応えする、フィルター、ピューリファイヤー、ディスペンスシステムを提供します。

研究開発用途からバルク製造、そして量産プロセスのPOUに至るまで、シームレスな移行をサポートします。

インテグリスの液体用フィルター関連製品

製品タイトルをクリックすると専用サイトが別ウインドウで表示されます。

洗浄・剥離用フィルター	純水用フィルター
フォトケミカル用フィルター	ディスペンスシステム
ファインプロセス用フィルター	フィルター用ハウジング
CMP/CMPスラリー用フィルター	研究・開発向けフィルター