インテグリスは、ウェーハおよびレチクルのハンドリングにおいて革新的で信頼性の高いソリューションを提供し、生産性と歩留まりの向上に貢献します。
インテグリスのウェーハ／レチクルハンドリング製品
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www.wafercare.com
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カスタマーサービス <jp-info@entegris.com>
クラリライト
レチクルのヘイズによるパターン不良やレチクルの洗浄サイクルを大幅に改善する、業界初のソリューション。