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エアロネクス ガス精製システム EGPS-Hシリーズ

水素用自動精製システム、120/300/1000SLM
 
エアロネクス ガス精製システム EGPS-Hシリーズ
  • エピタキシャルやMOCVDの膜特性向上に有効なシステム。
  • 水素ガス中の水分、酸素、CO等の不純物を1ppb以下に制御。
  • 2本の精製ユニットを搭載しており、再生・供給サイクルを自動制御。
  • 精製ユニットを交換することなく、長期の連続運転を実現。
  • 最高使用流量は120SLM、300SLM、1000SLMの3種類をご用意。
 
エアロネクス ガス精製システム EGPS-Hシリーズ
使用ガス
 水素
除去対象不純物
 H2O、O2、CO2、CO、NMHC（ノンメタンハイドロカーボン）
不純物清浄度
 1 ppb 以下
粒子除去効率
 0.003μm以上の粒子を99.9999999%除去
使用圧力範囲
 0.4-1.0 MPa
最高使用流量
 120SLM、300SLMまたは1000SLM