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ウェハーガード W-Seal 集積ガスフィルター

 
ウェハーガード W-Seal 集積ガスフィルター
  • 集積型ガスパネル用。
  • 1.5W-seal、1.125W-seal に対応。
 
ウェハーガード W-Seal 集積ガスフィルター
材質
 フィルター：ニッケルまたはSUS316L

ハウジング：Low Sulfur SUS316L
粒子捕捉率
 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上
サイズ
 ハーフ、ミニ、ミニXL、ミニXL(3/8")
常用圧力
 1 MPa 未満
最高使用温度
 400 °C
製品型番
 WG3SS1WW2 WG3SS2WW2 WG3SS2WW3 WG2S01WW2 WG2S02WW2 WG2S02WW3 WG2S0HWP2
材質
 フィルター：SUS316L

ハウジング：Low Sulfur SUS316L
粒子捕捉率
 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上
サイズ
 ミニプラス
常用圧力
 1 MPa 未満
最高使用温度
 400 °C
製品型番
 WGSLSHW1MP