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ウェハーガードⅡSFインラインガスフィルター

SUS316Lメンブレン、15/30/60NL/min
mc0301.pdf (122517)
 
ウェハーガードⅡSFインラインガスフィルター
  • ほとんどのガスに使用できるオールステンレスフィルター。
  • 流量に合わせてハーフ、ミニ、ミニXLの3タイプをご用意。
  • 特殊洗浄、ホットN2パージ、真空ベーキングを施したクリーンな製品。
 
ウェハーガードⅡSFインラインガスフィルター
材質
 フィルター：SUS316L

ハウジング：Low Sulfur SUS316L
除粒子サイズ
 0.003 µm
初期清浄度
 0.01µm以上の粒子 <0.03 個/L
設計圧力
 16.2 MPa
常用圧力
 1 MPa 未満
最大許容差圧
 3 MPa
最高使用温度
 460 °C
製品型番
 WGMS02PRU WGMS32PRU WGMSA1HRU WGMSH1HRU