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インパクト2 V2 ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.01-0.2µm、マニホールドタイプ
mds0605.pdf
(252886)
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専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
300mm装置に対応する60mmピッチのコンパクトサイズ。
液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
多様なニーズにお応えできる孔径ラインアップをご用意。
超高分子量ポリエチレン(UPE)メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
インパクト2 V2 ディスポーザブルフィルター
除粒子孔径
0.01, 0.02, 0.05, 0.1, 0.2 µm
材質
フィルター:超高分子量ポリエチレン(疎水性)
サポート:高密度ポリエチレン
ハウジング:高密度ポリエチレン
O-リング:カルレッツ(OFタイプ)
膜面積
≦20nm:1400cm2、≧50nm:1200cm2
最高使用圧力
0.34 MPa at 25 ℃
最大許容差圧
0.27 MPa at 25 ℃
最高使用温度
40 ℃
ホールドアップ容積
≦ 55 cc
製品型番
A2AT20MK1 A2AT20M01 A2AX20MK1 A2AX20M01 A2AZ200K1 A2AZ20001 A2AV200K1 A2AV20001 A2AG200K1 A2AG20001
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