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製品情報

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ソラリスCMフィルター

密度勾配型デプスフィルター、公称孔径1-5µm
eds0709.pdf (127523)
 
ソラリスCMフィルター
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
  • デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
  • フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。
 
ソラリスCMフィルター
材質
 フィルター：ポリプロピレン

ハウジング：ポリプロピレン

O-リング：EPDM
最高使用圧力
 0.34 MPa at 20℃
最大許容差圧
 0.28 MPa at 20℃
最高使用温度
 50℃
製品型番
 D75010053F1 D7501005CE1 D75030053F1 D7503005CE1 D75050053F1 D7505005CE1