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パネルガード1-2-3 ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.05-0.2µm、マニホールドタイプ
mc0409.pdf
(217175)
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専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
液晶ディスプレイのフォトレジスト用に開発されたデザイン。
基板サイズに合わせてショートタイプとロングタイプをご用意。
超高分子量ポリエチレン(UPE)メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
パネルガード1-2-3 ディスポーザブルフィルター
孔径
0.05, 0.1, 0.2 µm
材質
フィルター:超高分子量ポリエチレン(疎水性)
サポート:高密度ポリエチレン
ハウジング:ポリプロピレン
O-リング:パーフロ
膜面積
ショート:1600cm2、ロング:3000cm2
最高使用圧力
0.39 MPa at 25 ℃
最大許容差圧
0.27 MPa at 25 ℃
最高使用温度
40 ℃
製品型番
AFUZ0SPM1 AFUZ0LPM1 AFUV0SPM1 AFUV0LPM1 AFUG0SPM1 AFUG0LPM1
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