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製品情報

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150mm 厚型ウェーハ出荷容器

化合物半導体ウェーハの保護
 
  • 板厚1.3mmのウェーハに対応
  • 150mmウェーハを25枚収容
  • 高純度ポリプロピレン製
 
150mm 厚型ウェーハ出荷容器

主な特長

  • トップカバーに一体成型された櫛型スプリング
    • ウェーハのガタツキを抑え、パーティクルの発生を防止
  • 高純度ポリプロピレン製のクリーンな容器
    • ガス放出の少ない素材
  • 自動化対応
    • カセット位置決め用のセンターノッチとHバー
  • ハイプロファイルカセット
    • ウェーハの保護
ウェーハ径
150 mm (6")
収容枚数
25枚
カバー材質
高純度ポリプロピレン
カセット材質
高純度ポリプロピレン
型番
H9150-0042PA H9150-0043PA(洗浄品)