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ウルトラパック 100mm薄型ウェーハ出荷容器

化合物半導体ウェーハおよび薄型Siウェーハの保護
 
  • 薄型ウェーハを確実に保持するダブルクッション構造
  • 100mmウェーハを25枚収容
  • 高純度ポリプロピレン製
 
ウルトラパック 100mm薄型ウェーハ出荷容器

主な特長

  • ダブルクッション構造
    • カセット内のウェーハを、トップカバーとボトムカバーの両方のクッションでしっかりと保持
    • ウェーハのガタツキを抑え、パーティクルの発生を防止
    • 輸送中のウェーハを衝撃から保護
  • 高純度ポリプロピレン製のクリーンな容器
    • ガス放出の少ない素材
  • 自動化対応カセット
    • 自動搬送用のロボットフランジ
    • カセット位置決め用のセンターノッチ
  • 二次包装ケースに対応
    • 8組のシッパー(合計200枚のウェーハ)を直接収容できます
    • ISTA-2Aを基準とした落下試験に合格
ウェーハ径
100 mm (4")
収容枚数
25枚
カバー材質
高純度ポリプロピレン
カセット材質
高純度ポリプロピレン
D1寸法
14.5 mm
ポケットピッチ
4.6 mm
型番
H9100-0050 H9100-0051(洗浄品)