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ウルトラパック 100mm薄型ウェーハ出荷容器
化合物半導体ウェーハおよび薄型Siウェーハの保護
イメージの拡大
薄型ウェーハを確実に保持するダブルクッション構造
100mmウェーハを25枚収容
高純度ポリプロピレン製
ウルトラパック 100mm薄型ウェーハ出荷容器
主な特長
ダブルクッション構造
カセット内のウェーハを、トップカバーとボトムカバーの両方のクッションでしっかりと保持
ウェーハのガタツキを抑え、パーティクルの発生を防止
輸送中のウェーハを衝撃から保護
高純度ポリプロピレン製のクリーンな容器
ガス放出の少ない素材
自動化対応カセット
自動搬送用のロボットフランジ
カセット位置決め用のセンターノッチ
二次包装ケースに対応
8組のシッパー(合計200枚のウェーハ)を直接収容できます
ISTA-2Aを基準とした落下試験に合格
ウェーハ径
100 mm (4")
収容枚数
25枚
カバー材質
高純度ポリプロピレン
カセット材質
高純度ポリプロピレン
D1寸法
14.5 mm
ポケットピッチ
4.6 mm
型番
H9100-0050 H9100-0051(洗浄品)
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