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150mmウェーハキャリア関連製品

ハンドル、保管ボックス
 
     
    150mmウェーハキャリア関連製品
    A72-60-03 A040-103 A049 A72-60-04 A055


    型 番 材 質 外形寸法 適合キャリア
    A72-60-03-0215 PFA 163 x 140 x 183 mm A182-60M、A190-60Mシリーズ
    PA72-60-03-0603 ポリプロピレン(青) 163 x 140 x 183 mm A182-60M、A190-60Mシリーズ
    A040-103-0215 PFA 165 x 152 x 165 mm A182-60Mシリーズ
    A049-0215 PFA 165 x 163 x 203 mm A182-60Mシリーズ
    A72-60-04-0215 PFA 15 x 192 x 237 mm A182-60Mシリーズ
    PA72-60-04-0603 ポリプロピレン(青) 15 x 192 x 237 mm A182-60Mシリーズ
    A055-0215 PFA 208 x 173 x 46 mm A182-60M、A190-60Mシリーズ
    (一部を除く)
      E160シリーズ(チルトタイプ) E90シリーズ(標準タイプ)
    外観形状

    (ウェーハキャリアは別売)


    (ウェーハキャリアは別売)
    外形寸法 195 × 203 × 211 mm  208 × 193 × 188 mm
    材 質 STAT-PRO 175F ポリプロピレン(青) STAT-PRO 100
    型 番 E160-60-103S-69F02
    E90-102-0603 E90-102-61C02
    適合キャリア  25枚入りキャリア   A182シリーズ
    オプション トラベラー:E96-21-1613  トラベラー:E96-3P-21A15
    クッション:E95-2-0815

    STAT-PRO 100 はポリプロピレンにカーボンパウダーを添加、STAT-PRO 175F はポリプロピレンにカーボンファイバーを添加し、帯電防止特性を付加した素材です。

    トラベラーはPVC製のカバーで、ボックス上面に装着して、工程管理表などを添付するのに使用できます。

    クッション(低密度ポリエチレン製)は上部カバー内側に装着し、ボックス内のウェーハを保持するために使用します。E160シリーズはキャリアを傾斜させて収容しますので、クッションは不要です。