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機器の保護、パージ、搬送エア用

ガス配管系部品の保護用フィルター、樹脂製フィルター、エアガン
ウェハーガードGT-プラスガスフィルター
オールフッ素樹脂製フィルター
  • 搬送、パージ、ボトル加圧用のN2ラインのろ過。
  • 耐薬品性、清浄性に優れたオールフッ素樹脂製。
  • コンパクトサイズ。
ウェハーガードGTL ガスフィルター
樹脂製フィルター
  • 搬送、パージ、ボトル加圧用のN2ラインのろ過。
  • PTFEメンブレン、ポリスルホン製ボディ。
  • PTまたはNPTのテーパねじ接続。
ウェハーガードGNガスフィルターガン
フィルターを装着できるエアガン
  • クリーンルーム内でのN2またはCDAの吹き付け。
ガスケットガード ガスフィルター
継手内部に装着できるガスケット付フィルター
  • 継手内部に装着し、ガス配管系機器を保護するオールメタルフィルター。
  • 高圧ラインにも使用できます。
ラインガードマイクロ
ガス配管系機器保護用インラインガスフィルター
  • 大きな異物の出流れを防止するライン保護用フィルター。
  • 高圧ラインにも使用できます。
ユニガード ガスフィルター
ユニオン継手形状のガスフィルター
  • ユニオン継手にフィルターメディアを内臓。
  • MFC、レギュレータ、バルブ等の保護。
MFCガード ガスフィルター
バルクヘッドユニオン形状のガスフィルター
  • バルクヘッドユニオン継手にフィルターメディアを内臓。
  • MFC、レギュレータ、バルブ等の保護。