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CMPスラリー用フィルター
ソラリスCLフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径0.3-3µm
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
  • デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
  • フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。
ソラリスCMフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径1-5µm
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
  • デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
  • フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。
プレナガードCLカートリッジフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径0.3-1.0µm、5/10/20/30インチタイプ
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能が向上。
  • 最先端のCMPプロセスに対応する孔径ラインアップ。
プレナガードカートリッジフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径1.0-10µm以上、10インチタイプ
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 1.0µmから10µm以上まで、幅広い孔径ラインアップ。