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製品情報

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フォトケミカル用フィルター
インパクト2 V2 ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.01-0.2µm、マニホールドタイプ
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 300mm装置に対応する60mmピッチのコンパクトサイズ。
  • 液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
  • 多様なニーズにお応えできる孔径ラインアップをご用意。
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
インパクト2 V2 PCM ディスポーザブルフィルター
親水性UPEメンブレン（PCM）、孔径0.02-0.05µm、マニホールドタイプ
  • 吸着メカニズムを付加した親水性超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン。
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 300mm装置に対応する60mmピッチのコンパクトサイズ。
  • 液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
インパクト2 Duo ディスポーザブルフィルター
疎水性UPE/ポリアミドメンブレン、孔径0.01-0.03µm、マニホールドタイプ
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）とポリアミドのハイブリッド型メンブレン。
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 300mm装置に対応する60mmピッチのコンパクトサイズ。
  • 液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
インパクト2 マニホールド
インパクト2フィルター専用マニホールド
  • レバー操作による垂直着脱方式を採用、フィルター交換が容易。
  • 主要な継手とチューブサイズに対応。
オプチマイザーST DEV/DEV-L ディスポーザブルフィルター
親水性UPEメンブレン、孔径0.02-0.1µm、マニホールドタイプ
  • 現像液用に最適化された超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン。
  • 親水化処理が不要。
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
オプチマイザーST2マニホールド
パネルガード1-2-3シリーズフィルター専用マニホールド
  • レバー操作による垂直着脱方式を採用、フィルター交換が容易。
  • オプチマイザーST、パネルガード1-2-3、およびプロセスガード1-2-3シリーズのフィルターに対応。
オプチマイザーD ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.02-0.2µm、カプセルタイプ
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
  • ガス透過度が低く耐薬品性に優れた高密度ポリエチレン製ハウジング。
オプチマイザーDRR/DPR-L ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.02-0.2µm、カプセルタイプ
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
  • 多様なニーズにお応えする孔径、接続ラインアップをご用意。