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ウェーハ洗浄・剥離用フィルター
トレントATEディスポーザブルフィルター
高流量Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径20nm、10インチタイプ
  • 45nm以降の量産プロセスに対応する高い除粒子性能と高流量を両立する新開発のメンブレンを採用。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、RCA洗浄等で発生しやすい膜の乾きによる流量低下を解消。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
トレントATEカートリッジフィルター
高流量Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径20nm、10インチタイプ
  • 45nm以降の量産プロセスに対応する高い除粒子性能と高流量を両立する新開発のメンブレンを採用。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、RCA洗浄等で発生しやすい膜の乾きによる流量低下を解消。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
クイックチェンジATEディスポーザブルフィルター
Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径30-100nm、10インチタイプ
  • 孔径30nmの優れた除粒子性能と高流量の両立を実現する新型プリーツ構造。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、RCA洗浄等で発生しやすい膜の乾きによる流量低下を解消。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
クイックチェンジATEカートリッジフィルター
Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径30-100nm、10インチタイプ
  • 孔径30nmの優れた除粒子性能と高流量の両立を実現する新型プリーツ構造。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、RCA洗浄等で発生しやすい膜の乾きによる流量低下を解消。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
クイックチェンジPlus1500/3000フィルター
Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径30-100nm、カプセルタイプ
  • 独自のプリーツ構造により流量特性の向上を実現。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、膜の乾きによる流量のバラツキを解消し、常に安定した流量が維持されます。
サーモガードNE ディスポーザブルフィルター
Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径200nm、10インチタイプ
  • 熱燐酸の循環ろ過など、高温・高粘度アプリケーション向けに設計されたオールフッ素樹脂製フィルター。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、薬液からの発泡や液交換で発生しやすい膜の乾きによる流量低下を解消。
インターセプトPlus HPM カートリッジフィルター
親水性UPEメンブレン、孔径30-50nm、10インチタイプ
  • 供給ライン、ワンパスろ過にも使用できる高除粒子性能。
  • 膜面積をアップし、微細孔径でも流量性能を確保。
  • 親水性の超高分子量ポリエチレンメンブレンにより、マイクロバブルの発生を抑制。
  • 交換が容易なケムロック対応カートリッジ。
エッチガードHP/HPX カートリッジフィルター
親水性UPEメンブレン、孔径50-100nm、5/10インチタイプ
  • DHF/BOEの循環システム用に設計されたフィルター。
  • 親水性の超高分子量ポリエチレンメンブレンにより、マイクロバブルの発生を抑制。
  • 交換が容易なケムロック対応カートリッジ（10インチタイプ）。