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デプスタイプ

ポリプロピレンなどの繊維を多層に重ね合わせ、メディアの内部で粒子を捕捉するタイプのデプスフィルターです。

多量の粒子が含まれる流体のプレフィルター（粗ろ過）、またはスラリー（研磨粒子）の分級ろ過に適しています。
ソラリスCLフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径0.3-3µm
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
  • デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
  • フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。
ソラリスCMフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径1-5µm
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
  • デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
  • フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。
プレナガードCLカートリッジフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径0.3-1.0µm、5/10/20/30インチタイプ
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能が向上。
  • 最先端のCMPプロセスに対応する孔径ラインアップ。
プレナガードカートリッジフィルター
密度勾配型デプスフィルター、公称孔径1.0-10µm以上、10インチタイプ
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 1.0µmから10µm以上まで、幅広い孔径ラインアップ。
プロセスガードCRカートリッジフィルター
密度勾配型デプスフィルター、0.5-100µm、4/10/20/30インチタイプ
  • 数種類のろ過メディアを重ねた、密度勾配を有するデプスフィルター。
  • 公称孔径：0.5, 1, 3, 5, 10, 25, 50, 75, 100 µm
  • フィルター材質：ポリプロピレン
  • シール方式：O-リングシール（コード0）、フラットシール（コードF）、ツイストロック（コード7）
  • カートリッジサイズ：4, 10, 20, 30 インチタイプ
プロセスガードCJカートリッジ
糸巻状デプスフィルター、公称孔径0.5-100µm、10/20/30インチタイプ
  • 糸巻状の粗ろ過用デプスフィルター。
  • 公称孔径：0.5, 1, 3, 5, 10, 25, 50, 75, 100 µm
  • フィルター材質：ポリプロピレンまたはコットン
  • シール方式：O-リングシール（コード0）またはフラットシール（コードF）
  • カートリッジサイズ：10, 20, 30 インチタイプ