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親水性UPEフィルター（PCM）

吸着メカニズムを付加した親水性超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン
mc0414.pdf (213329)

 

インテグリスのPCMメンブレンは、レジストのろ過で実績の高い超高分子量ポリエチレンメンブレンに吸着除去特性を付加した高機能メンブレンです。

  • ArFレジスト溶剤に含まれる極微小のゲル状不純物を、吸着除去します。
  • 親水性ですので、TARCにおけるマイクロバブルの抑制に効果的です。

 
インパクト2 V2 PCM ディスポーザブルフィルター
親水性UPEメンブレン（PCM）、孔径0.02-0.05µm、マニホールドタイプ
  • 吸着メカニズムを付加した親水性超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン。
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 300mm装置に対応する60mmピッチのコンパクトサイズ。
  • 液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
オプチマイザーD300/600 PCM ディスポーザブルフィルター
親水性UPEメンブレン（PCM）、孔径0.02µm、小型カプセルタイプ
  • 吸着メカニズムを付加した親水性超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン。
  • ガス透過度が低く耐薬品性に優れた高密度ポリエチレン製ハウジング。
  • ホールドアップボリュームを極小化したデザイン。
  • 流量に合わせて2種類のサイズをご用意。
オプチマイザーD-PCM ディスポーザブルフィルター
親水性UPEメンブレン（PCM）、孔径0.02-0.05µm、カプセルタイプ
  • 吸着メカニズムを付加した親水性超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン。
  • ガス透過度が低く耐薬品性に優れた高密度ポリエチレン製ハウジング。
マイクロガードPlus PCM カートリッジフィルター
親水性UPEメンブレン（PCM）、孔径0.02-0.05µm、10/20インチタイプ
  • 吸着メカニズムを付加した親水性超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン。
  • 10インチタイプと20インチタイプをご用意。