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製品情報

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疎水性UPEフィルター
インパクト2 V2 ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.01-0.2µm、マニホールドタイプ
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 300mm装置に対応する60mmピッチのコンパクトサイズ。
  • 液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
  • 多様なニーズにお応えできる孔径ラインアップをご用意。
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
インパクト2 Duo ディスポーザブルフィルター
疎水性UPE/ポリアミドメンブレン、孔径0.01-0.03µm、マニホールドタイプ
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）とポリアミドのハイブリッド型メンブレン。
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 300mm装置に対応する60mmピッチのコンパクトサイズ。
  • 液の流れに淀みがない流路とデッドスペースの最小化により、省レジストに貢献。
オプチマイザーST/ST-L ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.01-0.02µm、マニホールドタイプ
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 溶剤リンス用に開発されたデザイン。
オプチマイザーD300/600 ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.02-1.0µm、小型カプセルタイプ
  • 半導体製造プロセスで実績の高い超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレン。
  • ガス透過度が低く耐薬品性に優れた高密度ポリエチレン製ハウジング。
  • ホールドアップボリュームを極小化したデザイン。
  • 流量に合わせて2種類のサイズをご用意。
オプチマイザーD ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.02-0.2µm、カプセルタイプ
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
  • ガス透過度が低く耐薬品性に優れた高密度ポリエチレン製ハウジング。
オプチマイザーDRR/DPR-L ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.02-0.2µm、カプセルタイプ
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
  • 多様なニーズにお応えする孔径、接続ラインアップをご用意。
オプチマイザー16/40 カートリッジフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.05-0.2µm、16/40タイプ
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。
パネルガード1-2-3 ディスポーザブルフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.05-0.2µm、マニホールドタイプ
  • 専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
  • 液晶ディスプレイのフォトレジスト用に開発されたデザイン。
  • 基板サイズに合わせてショートタイプとロングタイプをご用意。
  • 超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、レジスト通液前の置換が不要。