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182シリーズ

ウェーハキャリア

 

ウェーハキャリアのスタンダードモデル

  • 自動機対応
  • 洗浄効率を考慮した洗浄窓
  • 識別用オプション取り付け可能

    • アプリケーションに応じて材質を選択できます

  • PFA：耐薬品性
  • STAT-PRO 100（カーボンパウダー含有ポリプロピレン）：帯電防止
  • STAT-PRO 3000（カーボンファイバー含有PEEK）：高温安定性、耐摩耗性、帯電防止
    		•

     

    主な仕様

    ウェーハ径 150mm（6"）
    収納枚数 25枚
    材　質 PFA ポリプロピレン（青） STAT-PRO 100 STAT-PRO 3000
    外形寸法 143(L)×178(W)×172(H) mm
    D1寸法 14.5 mm
    ポケットピッチ 4.8 mm
    ポケットフラット 1.5 mm
    型　番 A182-60MB-0215 PA182-60MB-0603 PA182-60MB-61C02 KA182-60MB-47C02

     

    ウェーハ径 125mm（5"）
    収納枚数 25枚
    材　質 PFA ポリプロピレン（青） STAT-PRO 100
    外形寸法 143(L)×152(W)×146(H) mm
    D1寸法 14.5 mm
    ポケットピッチ 4.8 mm
    ポケットフラット 1.5 mm
    型　番 A182-50MB-0215 PA182-50MB-0603 PA182-50MB-61C02

     

    ウェーハ径 100mm（4"）
    収納枚数 25枚
    材　質 PFA ポリプロピレン（青） STAT-PRO 100
    外形寸法 143(L)×126(W)×108(H) mm
    D1寸法 14.5 mm
    ポケットピッチ 4.8 mm
    ポケットフラット 1.5 mm
    型　番 A182-39MLB-0215 PA182-39MLB-0603 PA182-39MLB-61C02

     

    ロープロファイル

    ウェーハ径 150mm（6"） 125mm（5"） 100mm（4"）
    収納枚数 25枚
    材　質 PFA
    外形寸法 144×178×114 mm 143×152×95 mm 143×126×76 mm
    D1寸法 14.5 mm
    ポケットピッチ 4.8 mm
    ポケットフラット 1.4 mm
    型　番 A190-60M-0215 A190-50M-0215 A190-40M-0215
    150mmウェーハキャリア関連製品
    ハンドル、保管ボックス
      125mmウェーハキャリア関連製品
      ハンドル、保管ボックス
        100mmウェーハキャリア関連製品
        ハンドル、保管ボックス