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ウェーハ洗浄用バスケット

ウェーハを収納し、マニュアルで洗浄できるバスケット

丸形バスケット

A14 A14 A26-01-0215 A47-01-0215
A14 A15 A26 A47

 

品番 構成 ウェーハ径 収納枚数 外形寸法 材質
A14-01S-0215
A14-02S-0215		 本体
カバー		 0.625"～1.25" 24 Φ89 x 20 mm PFA
A15-01-0215
A15-02-0215		 本体
カバー		 1.0"～1.75" 24 Φ117 x 46 mm PFA
A26-01-0215 本体＋カバー 0.625"～2.0" 30 Φ152 x 61 mm PFA
A47-01-0215 本体 1.5"～2.25" 30 Φ160 x 51 mm PFA

 

ハンドル

品番 外形寸法 材質 着色
A01-0215 □10 x 193 mm PFA ナチュラル
PA01-0603 □10 x 193 mm PP 青
A07-0215 □10 x 229 mm PFA ナチュラル
PA07-0603 □10 x 229 mm PP 青