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製品情報

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フィルムフレームシッパー

リング付ウェーハの保管・出荷容器

 

300mm用

200mm用

SFFS300-101A-5115

  • カバーに装着されたクッションがウェーハリングを保持、搬送中のパーティクルの発生を抑制

  • スナップラッチで、カバーの開閉状態を確認

  • 梱包スペースの削減と洗浄効果を考慮したデザイン

  • メタルリングとプラスチックリングの両方に対応

  • 帯電防止用にSTAT-PRO125（カーボンパウダー含有ポリプロピレン）をご用意

 

主な仕様

ウェーハサイズ 300 mm
フレームサイズ 380 mm
収容枚数 13 枚
適用リング メタルリング専用 プラスチックリング専用
材　質 ポリプロピレン STAT-PRO125 ポリプロピレン STAT-PRO125
型　番 E400-380-101-0615 E400-380-101-67C02 E400-380-102-0615
 E400-380-102-67C02

 

ウェーハサイズ 200 mm
フレームサイズ 276 mm 266.7 mm
収容枚数 25 枚 25 枚
適用リング プラスチックリング／メタルリング共用 プラスチックリング／メタルリング共用
材　質 ポリプロピレン STAT-PRO125 ポリプロピレン STAT-PRO125
型　番 E400-276-101-0615 E400-276-101-67C02 E400-266-101-0615 E400-266-101-67C02

 

ウェーハサイズ 150 mm
フレームサイズ 215.9 mm 212.0 mm
収容枚数 25 枚 25 枚
適用リング プラスチックリング／メタルリング共用 プラスチックリング／メタルリング共用
材　質 ポリプロピレン STAT-PRO125 ポリプロピレン STAT-PRO125
型　番 E400-085-101-0615 E400-085-101-67C02 E400-083-101-0615 E400-083-101-67C02

 

シングルウェーハタイプもご用意しています。

300mm用

200mm用

 

ウェーハサイズ 300 mm 200 mm
フレームサイズ 380 mm 276 mm
材　質 PETG ポリエステル（導電性） PETG ポリエステル（導電性）
型　番 SFFS300-101B-5115 SFFS300-101B-1202 SFFS200-101A-5115 SFFS200-101A-1202