高精度の液体流量計測
高純度薬品およびCMPスラリーの供給システムには高精度の流量計測が必要となります。同時に優れた耐薬品性、清浄性、さらには高い信頼性が求められます。
インテグリスのNT4400シリーズは、最新の電子制御技術と高清純部材を採用した、最先端の液体用フローメータで、プロセス流量の変動を最小限に抑えます。
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