ガスフィルター
ニッケル、ステンレス スチール、アロイ-22、または PTFE 製のメンブレンフィルター技術
インテグリスの超高純度ガス用フィルター製品は、0.0015 µm の粒子除去が可能で、超高純度のガスに対応しています。 Wafergard® (ウェハーガード) インラインガスフィルターは、プロセスガスのスループットを増やし、ガスボックス全体の面積を削減できます。
ニッケル、ステンレス スチール、アロイ-22、または PTFE 製のメンブレンフィルター技術
インテグリスの超高純度ガス用フィルター製品は、0.0015 µm の粒子除去が可能で、超高純度のガスに対応しています。 Wafergard® (ウェハーガード) インラインガスフィルターは、プロセスガスのスループットを増やし、ガスボックス全体の面積を削減できます。