Torrento® 液体用フィルター

汚染物質に対する除去性能に優れた、クラス最高かつ最先端のプロセス用薬液ろ過

サブ22 nmテクノロジーノードにおいて、高流量かつ優れた除去性能を発揮し、溶剤、水溶性薬液、アウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸およびアルカリの薬液ろ過に適しています。

 

主な特長

  • 最先端のメンブレン技術により、ウェットプロセスにおける究極の粒子制御を実現
  • 立ち上げ時の除去性能を究極まで高める、クラス最高のウルトラクリーンなオプションを提供